MEMS器件 - 上海羿淳科技

柔性电极

柔性电极简介

采用MEMS（微机电系统）工艺制造的柔性电极是一种具有良好柔韧性和导电性的微型电子元件。其制造工艺流程涉及多个精密加工步骤，结合了传统半导体制造技术和柔性材料加工技术。

产品特点

・柔韧性：可弯曲、拉伸和扭曲。
・轻量化：适合便携式和可穿戴设备。
・高导电性：导电材料选择多样，高效电传导。
・良好的生物相容性：材料合适，应用方安全有效。

典型应用

・可穿戴设备
・脑机接口
・传感器
・柔性电子

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探针

探针简介

本产品为应用于原子力显微镜（AFM）的高性能探针，作为AFM的核心耗材，本探针专为满足高精度科研需求而设计。面对当前市场上探针普遍存在的寿命短、分辨率不稳定及一致性差等技术瓶颈，苏州博研致力于开发新型探针，旨在提供更可靠、更清晰的成像效果，以满足全球顶尖实验室对微观世界探索的严苛要求。

产品特点

・针尖半径可达到10纳米级别，微悬臂长度与厚度经过严格校准，确保了对样品的高灵敏度扫描。
・在工艺上，我们突破传统湿法刻蚀，引入先进的干法刻蚀技术，能够更精准地控制针尖的尖锐度与几何形状，从而显著提升探针的分辨率与一致性。

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二维材料

二维材料简介

二维材料，全称二维原子晶体材料，是指电子仅可在两个维度的非纳米尺度（1-100nm）上自由运动（平面运动）的材料。这类材料包括石墨烯、氮化硼、二硫化钼、二硫化钨、二硒化钼、MXene等。石墨烯具有单原子层厚、高载流子迁移率等特点。

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PMUT

PMUT简介

PMUT（压电式微机电超声波换能器）是一种利用 MEMS（微机电系统）技术制造的微型超声波换能器。它基于压电效应工作：通过在压电薄膜上施加电压使其产生机械变形来发射超声波；接收超声波时，机械应力又会使它产生电荷信号，从而实现电能和声能的相互转换。

产品特点

・体积小、功耗低
・集成度高
・环境适应性强
・性能优越

典型应用

・飞行时间（ToF）测距与感应
・超声波指纹识别
・人机交互

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MEMS开关

MEMS 开关简介

MEMS（微机电系统）开关是采用微纳加工技术制造的微型机械式开关。其核心是一个微小的可动悬臂梁结构，通过静电等驱动力控制悬臂梁的机械运动，实现信号端子的导通与断开。根据应用领域，主要分为射频MEMS开关（RF MEMS Switch）和微机电继电器（MEMS Relay）两大类。

产品特点

・支持TSV/TGV晶圆级封装
・具备片上集成能力
・可基于玻璃、石英、高阻硅等衬底进行流片

典型应用

・射频前端
・无线通信
・自动测试
・智能电网

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氮化硅薄膜窗格

氮化硅薄膜窗格简介

定制氮化硅薄膜窗格是同步辐射X射线、软X射线、紫外或极紫外样品结构分析或透射成像实验的理想承载体。中慧芯可根据用户需求，提供定制化解决方案。

定制类型

大窗口、多窗口氮化硅膜
大窗口和多窗口氮化硅薄膜主要用于同步辐射实验中的真空窗口，其中多窗口产品主要用于区别不同的样品。

悬臂梁加热器件
应用于透射电镜实现高温条件下材料电化学出和分解过程。

开放式电化学芯片
开放式电化学芯片使用离子液体电解液，在透射电镜中，可以直接观测金丝边缘浸润在离子液体中的电极样品，并可以实现高分辨原位实时观测。

加热芯片
热学芯片是依靠氮化硅膜超高的稳定性和低热容量的特点实现稳定的热学观测。芯片使用铂为加热电极层与信号反馈层，可耐受1200℃高温。

典型用途

・TEM观测材料、生物样品等
・热稳定性高，可对同一样品进行退火处理前后的形貌进行准原位的研究
・无毒性，可供生物样品的培养观测
・用于EDX/EELS观测含碳样品，避免干扰

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微流控

微流控简介

微流控器件最主要的加工方法是来自于微电子行业的光刻技术和来自于表面图案化的软光刻技术。在上述两种技术的基础上，为了制作完整的微流控微通道，一般还需要对两片材料进行键合。玻璃和硅片等材料通过高温、高压或高电压等方法键合，而PDMS材料通过氧等离子处理进行键合。

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