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Photomask
SOI片
SOI绝缘硅片,SOI是指将一薄层硅置于一绝缘衬底上。晶体管将在称之为'SOI' 的薄层硅上制备。基于SOI结构上的器件将在本质上可以减小结电容和漏电流,提高开关速度,降低功耗,实现高速、低功耗运行。作为下一代硅基集成电路技术,SOI广泛应用于微电子的大多数领域,同时还在光电子、MEMS等其它领域得到应用。
SOI片参数
上海羿淳科技可提供4-8英寸等规格的SOI硅片
外形尺寸
4"、5"、6"、8"
工艺
Smart cut:Bonding;SIMOX
类型
N/P
顶层单晶厚度
0.22~50μm
埋氧层厚度
0.1~4μm
基底层厚度
100~500μm
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