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切割
切割简介
切割有时也叫"划片",是芯片制造工艺流程中一道不可或缺的工序,在晶圆制造中属于后道工序。切割的目的是将整个晶圆上每一个独立的IC/MEMS通过激光或者高速旋转的金刚石刀片切割开来,以便在后续的封装中对单个IC/MEMS进行粘贴、键合等操作。上海羿淳科技为多家高校/科研机构提供MEMS加工代工服务,熟练掌握激光切割、刀片切割等多种半导体切割划片技术。
切割方式
激光切割
硅基底
厚度
100-700μm
晶圆尺寸
2寸、4寸、6寸、8寸
刀片切割
Si,Ge,玻璃,石英,陶瓷,电路板切割
应用材料
2-8寸晶圆
金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料划片和切割
玻璃,石英,陶瓷,电路板切割
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