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光刻版简介
光刻掩膜版是光刻工艺中重要的材料之一,业内又称光罩版,掩膜版,光刻版。光刻版类型:石英基片、苏打玻璃基片、菲林版。
光刻版类型和工艺
光刻版类型
石英基片
苏打玻璃基片
菲林版
工艺能力
2.5英寸-9英寸可定制
苏打版精度±0.3um
石英版精度±0.1um
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