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MEMS开关
MEMS 开关简介
MEMS（微机电系统）开关是采用微纳加工技术制造的微型机械式开关。其核心是一个微小的可动悬臂梁结构，通过静电等驱动力控制悬臂梁的机械运动，实现信号端子的导通与断开。根据应用领域，主要分为射频MEMS开关（RF MEMS Switch）和微机电继电器（MEMS Relay）两大类。
产品特点
・支持TSV/TGV晶圆级封装
・具备片上集成能力
・可基于玻璃、石英、高阻硅等衬底进行流片
典型应用
・射频前端
・无线通信
・自动测试
・智能电网
案例展示
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